一种基于弹簧针和氧化铝的可复用极低温测试夹具

本发明一种基于弹簧针和氧化铝的可复用极低温测试夹具，属于芯片测试技术领域。第一壳体空腔内安装测试模块。测试模块上表面设置接地共面波导线和待测芯片电连接，下表面设有焊盘和待测芯片电连接。第一射频连接器与测试模块的接地共面波导线电连接作为信号输出端。第二壳体固定于第一壳体下方，其空腔内安装支撑模块。支撑模块下表面设有接地共面波导线，第二射频连接器与支撑模块的接地共面波导线电连接作为信号输入端。垂直准同轴结构贯通第一、二壳体的空腔，其底端与支撑模块的接地共面波导线电连接，其顶端针头与测试模块下表面的焊盘弹性电连接。本发明夹具可在极低温(如54K)条件下进行测试，且具有可复用性，降低了测试成本。