基于数据分析的半导体运维数据管理系统及方法

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基于数据分析的半导体运维数据管理系统及方法
申请号:CN202411095850
申请日期:2024-08-12
公开号:CN119045731A
公开日期:2024-11-29
类型:发明专利
摘要
本发明公开了基于数据分析的半导体运维数据管理系统及方法,涉及半导体运维数据管理技术领域,包括:获取半导体设备中传感器的历史使用数据及从调用传感器数据的记录;确定每个个体的适应度值,通过遗传算法对本地存储模块的存储空间进行初次分配;确定传感器的单位空间利用率,对本地数据存储模块的存储空间进行再分配;将半导体设备中传感器的数据存储到本地数据存储模块和云平台;传感器的数据存储在本地数据存储模块,能够提高数据调用速度,通过遗传算法确定需要存储到本地数据存储模块中的传感器数据,利于找到全局最优解;对传感器数据进行部分存储,节约存储空间;对节约的存储空间进行再分配,进一步提高存储空间的利用率。
技术关键词
数据存储模块 运维数据管理方法 半导体设备 数据管理系统 数据采集模块 遗传算法 数据分析模块 云平台 传感器单元 节约存储空间 人工智能模块 误差 数据管理技术
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