一种电子特气气体流量智能控制系统

本发明公开了一种电子特气气体流量智能控制系统，涉及气体流量控制技术领域，运行预测模块通过预测模型综合分析密封面缺损度、气压偏差指数以及浓度累积系数后，判断气体供给系统是否还支持运行，若判断气体供给系统不支持运行，发出预警信号并控制气体供给系统停止运行，若判断气体供给系统支持运行，则预测气体流量是否会出现波动，当预测气体流量会出现波动时，调节阀控制模块将预测模型函数值代入滑模控制算法，滑模控制算法通过总控制输出控制气体供给系统调节阀开度。该控制系统在磷烷气体注入过程中对磷烷气体的流量变化趋势进行预测并提前调节，确保离子注入工艺的一致性和可靠性，从而提高半导体产品的质量和生产效率。