一种双面反射镜的面形测量装置及方法

本发明提出了一种双面反射镜的面形测量装置及方法，包括十字丝光源、第一反射镜、第一起偏单元、第一角锥棱镜、第二反射镜、第三反射镜、第二起偏单元、第二角锥棱镜、第四反射镜、第二透镜及光学相机，第一反射镜设置于十字丝光源的出光路径上，使十字丝光源发射的入射光束传导至第一起偏单元中，第一角锥棱镜设置于第一起偏单元远离第二反射镜的一侧；由第一起偏单元出射的第一S偏振光和第一P偏振光，依次经第二反射镜和第三反射镜反射至第二起偏单元中，第二角锥棱镜设置于第二起偏单元远离第三反射镜的一侧；由第二起偏单元出射的第二S偏振光和第二P偏振光，经第四反射镜反射至光学相机中。本发明有助于提高双面反射镜的面形拟合准确度。