微机械结构及制作方法

本申请公开了一种微机械结构及制作方法，该微机械结构包括：衬底；第一牺牲层，位于衬底上，第一牺牲层中形成有第一腔体；第一结构层，位于第一牺牲层上，第一结构层包括向衬底方向凸出的凸起结构；其中，第一腔体使第一结构层中包括凸起结构的至少部分悬空，凸起结构朝向衬底一侧的表面包括弧形，以防止第一结构层与其下方相邻的结构发生粘附。本申请提供的微机械结构，通过在结构层上设置凸起结构，可以防止第一结构层在形变或者运动过程中与邻近结构发生粘附，减少器件因粘附而失效的可能，该凸起结构具有较高的机械强度，通过设计该凸起结构的高度可限制第一结构层的最大振幅，本申请提高了微机械机构的可靠性和稳定性，拓展了使用场景。