一种三维集成片上超长波导环结构及制备工艺

本发明属于集成光学、光学传感技术领域，具体涉及一种三维集成片上超长波导环结构及制备工艺。所述超长波导环结构集成在单片硅基芯片上，所述结构包括：顶部波导层1、多个中间波导层2、底部波导层3、衬底层4；顶部波导层1、多个中间波导层2、底部波导层3、衬底层4相互平行，且顶部波导层1、多个中间波导层2、底部波导层3、衬底层4在垂直方向上依次堆砌，且关于超长波导环结构的中垂面对称；光在相邻波导层之间通过垂直耦合的方式互连形成光回路。