一种电阻率多点自动测量分选设备及方法

本发明公开了一种电阻率多点自动测量分选设备及方法，包括上料机构、下料机构、检测机构和移料机构，上料机构包括上料输送线；下料机构包括与上料输送线平行设置的下料输送线；一个或多个检测机构分别设于上料输送线和下料输送线的外侧，检测机构用于不同规格晶片电阻率多点测量；移料机构设于检测机构内侧，移料机构用于上料输送线和下料输送线分别与检测机构之间搬运晶片。本申请能够实现不同规格晶片的电阻率多点自动测量并根据检测机构检测结果自动分选下料，自动化程度高，降低人工投入；产能提升，提高产品流转效率；提高产品质量，统一检验标准。