摘要
本申请提供一种走线制作方法、走线结构及芯片封装结构。走线制作方法包括:提供一绝缘层,采用切割方式在绝缘层上形成由绝缘层凹槽形成的走线图案,然后在绝缘层上制作一种子金属层,接着在种子金属层上电镀制作导电金属,由位于绝缘层凹槽中的导电金属作为走线。如此,通过上述方案,不仅能够实现更精细的图案设计,形成线宽可以小于2微米的线路,同时还能显著提升图案的规则性,避免因间距不一致而引起的图案宽度波动问题,确保信号传输的均匀性和稳定性。
技术关键词
走线制作方法
芯片封装结构
走线结构
凹槽
图案
种子
导电
电镀
叠层结构
离子束
电子束
间距
尺寸
激光
绝缘
线路
矩形
信号
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