一种兼容高精度和大动态范围的波像差传感器

本发明公开一种兼容高精度和大动态范围的波像差传感器，属于光学精密测量与检测领域。所述波像差传感器包括投影模块、阵列结构光芯片及探测模块。本发明公开的波像差传感器核心思想是基于一种阵列结构光芯片通过每个子孔径内编码不同特征相位，从而在其焦面内可以产生多种具有明显特征的结构光斑，可以实现不同子孔径光斑的区分。基于这种阵列结构光芯片，该波像差传感器可以实现更大动态范围的测量，且不会牺牲测量精度。本发明提出的这种波像差传感器一方面可以实现各种激光波前的测量，另一方面可以实现各种镜头的波像差检测。因而，这种波像差传感器在激光加工、激光手术、眼科检测、光学成像等领域具有重要的实用价值。