摘要
本文公开了一种用于无损深度剖析的方法,所述方法包括将脉冲泵光束投射到样品中、将脉冲探测光束投射到样品中、以及感测从样本中返回的光以获得测量信号。每个探测脉冲经配置为经历由直接在前的泵脉冲引起的从初级声脉冲的布里渊散射,以便在样品内的相应深度处从初级声脉冲散射。所述方法进一步包括执行优化算法,所述优化算法经配置为接收测量信号和/或从所述测量信号获得的处理信号作为输入,以及通过最小化指示测量信号和使用前向模型获得的模拟信号之间的差异的成本函数来输出表征样品的(多个)结构参数的值,所述前向模型模拟脉冲探测光束从至少初级声脉冲的散射。
技术关键词
光束
脉冲泵
电路系统
信号
图案化晶片
锁定放大器
光传感器
算法
短时傅立叶变换
光调制器
半透明反射镜
参数
数据
激光源
切片
声光
校准
频率
意图
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