一种用于检测玻璃表面平整度设备的监测系统及方法

本发明公开了一种用于检测玻璃表面平整度设备的监测系统及方法，具体涉及设备监测技术领域，包括数据采集模块、检测方法选择评估模块、风险评估模块和算法处理模块。本发明基于对目标微型铷原子钟气室玻璃进行传统检测方法的检测精度信息、误差修正能力信息和原子附着信息进行监测分析，评估目标微型铷原子钟气室玻璃的传统检测方法适用性，当判断不适合使用传统方法进行检测时，构建设备性能改变模型，获取现代光学检测方法对目标微型铷原子钟气室玻璃的设备性能改变指数，再构建支持向量机模型，从而根据对支持向量机模型的评估结果优化监测设备的参数设置，提高检测精度。