一种蓝膜子母环的自动上下料装置及其上下料方法

本发明涉及半导体运输工装技术领域，具体涉及一种蓝膜子母环的自动上下料装置及其上下料方法，自动上下料装置包括升降机构、回转机构、转板、一对上夹持器和一对下夹持器；回转机构安装于升降机构上；转板与回转机构连接，回转机构能够驱动转板在水平面内转动；转板的自由端开设有通孔；一对上夹持器和一对下夹持器均围绕通孔设置于转板上；上夹持器上设置有沿通孔中心轴线伸缩的L形上卡块；下夹持器上设置有沿通孔中心轴线伸缩的L形下卡块；在水平面内的投影，L形上卡块和L形下卡块均能够伸入或退出通孔；L形上卡块的竖直高度高于L形下卡块的竖直高度。通过一个机器人便能够实现蓝膜子母环的自动上下料。