一种杀菌纳米薄膜检测方法、装置及设备

本发明公开了一种杀菌纳米薄膜检测方法、装置及设备，属于光学测量领域，检测方法包括，对二氧化钒纳米薄膜进行检测预处理，获得待检测样品；将待检测样品在常温状态和相变温度状态下进行扫描获得光谱数据，并构建光谱数据库；从光谱数据库中提取出二氧化钒纳米薄膜的透射率和反射率，并计算得到折射率和消光系数，将计算得到的数据存入光学常数数据库中；对光谱数据库和光学常数数据库中的数据进行拟合得到二氧化钒纳米薄膜表面缺陷结果。本发明利用二氧化钒的相变特性通过两次扫描实现了对二氧化钒纳米薄膜表面缺陷的精确识别。