摘要
本申请提供了一种压电驱动器,包括多个依次叠放地压电驱动堆栈;压电驱动器的驱动伸缩量等于各压电驱动堆栈的驱动伸缩量之和。压电驱动堆栈包括多个依次叠放地压电驱动芯片,压电驱动芯片包括陶瓷绝缘层和电极,陶瓷绝缘层和电极依次交替设置,陶瓷绝缘层上具有第一通孔,也即陶瓷绝缘层的中心孔;电极包括极片部和引脚部,极片部上具有与第一通孔同轴设置,且直径大于第一通孔的第二通孔,第二通孔的直径大于第一通孔的直径,电极的边缘至中心孔的边缘之间形成起到绝缘作用的陶瓷绝缘环;极片部沿厚度方向的投影在陶瓷绝缘层的外轮廓投影之内,确保与邻层的电极的绝对绝缘,为确保同极性电极的电连接,引脚部还需延伸至陶瓷绝缘层的外轮廓边缘。
技术关键词
压电驱动器
驱动芯片
生坯
印刷电极
导电层
正电极
脚部
轮廓边缘
通孔
陶瓷绝缘环
印刷网板
引线
压电陶瓷
图案
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