压电驱动器及其制造方法

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压电驱动器及其制造方法
申请号:CN202411389449
申请日期:2024-09-30
公开号:CN119156114A
公开日期:2024-12-17
类型:发明专利
摘要
本申请提供了一种压电驱动器,包括多个依次叠放地压电驱动堆栈;压电驱动器的驱动伸缩量等于各压电驱动堆栈的驱动伸缩量之和。压电驱动堆栈包括多个依次叠放地压电驱动芯片,压电驱动芯片包括陶瓷绝缘层和电极,陶瓷绝缘层和电极依次交替设置,陶瓷绝缘层上具有第一通孔,也即陶瓷绝缘层的中心孔;电极包括极片部和引脚部,极片部上具有与第一通孔同轴设置,且直径大于第一通孔的第二通孔,第二通孔的直径大于第一通孔的直径,电极的边缘至中心孔的边缘之间形成起到绝缘作用的陶瓷绝缘环;极片部沿厚度方向的投影在陶瓷绝缘层的外轮廓投影之内,确保与邻层的电极的绝对绝缘,为确保同极性电极的电连接,引脚部还需延伸至陶瓷绝缘层的外轮廓边缘。
技术关键词
压电驱动器 驱动芯片 生坯 印刷电极 导电层 正电极 脚部 轮廓边缘 通孔 陶瓷绝缘环 印刷网板 引线 压电陶瓷 图案 烧结炉
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