异质集成光芯片、异质光芯片集成方法、装置及可读存储介质

本申请提供了一种异质集成光芯片、异质光芯片集成方法、装置及可读存储介质，该方法包括：键合第一晶圆与第二晶圆；第一晶圆中设置有辅助光波导，第二晶圆中设置有第二层光波导；获取第一晶圆与第二晶圆的键合偏移量；根据键合偏移量设计辅助光波导；辅助光波导配置为对键合偏移量进行补偿。本申请在将第一晶圆和第二晶圆键合后，获取第一晶圆和第二晶圆的键合偏移量，并根据该键合偏移量设计辅助光波导，以在第一倏逝波耦合器和第二倏逝波耦合器的对齐位置发生偏移的情况下，根据键合偏移量制作相应的辅助光波导，进而可以通过该辅助光波导对第一倏逝波耦合器和第二倏逝波耦合器的偏移进行补偿，可以提高异质集成芯片的对准精度。