一种芯片封装结构、芯片封装的方法和电路系统

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一种芯片封装结构、芯片封装的方法和电路系统
申请号:CN202411441149
申请日期:2024-10-16
公开号:CN118969762B
公开日期:2025-01-07
类型:发明专利
摘要
本申请实施例涉及半导体器件技术领域,尤其涉及一种芯片封装结构、芯片封装的方法和电路系统,芯片封装结构包括依次叠置的晶圆、表面金属层、第一聚合物层、重分布层、第二聚合物层和球下金属层;其中,表面金属层包括焊盘,第一聚合物层具有第一通孔,重分布层通过第一通孔与焊盘电连接;第二聚合物层具有第二通孔,球下金属层通过第二通孔与重分布层电连接。重分布层的第一边缘至表面金属层的边缘的距离为第一距离d1;当第一距离d1满足d1≤200μm时,第一边缘开设有多个间隔设置的第一凹槽,第二聚合物层通过第一凹槽与第一聚合物层连接,则第一凹槽形成锚固效应且形成应力缓释区,从而降低因重分布层变形造成的短路风险。
技术关键词
芯片封装结构 聚合物层 应力释放孔 球下金属层 凹槽 电路系统 焊球 通孔 半导体器件技术 外部设备 锚固效应 焊盘 间距 短路 风险 矩形
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