摘要
本申请实施例涉及半导体器件技术领域,尤其涉及一种芯片封装结构、芯片封装的方法和电路系统,芯片封装结构包括依次叠置的晶圆、表面金属层、第一聚合物层、重分布层、第二聚合物层和球下金属层;其中,表面金属层包括焊盘,第一聚合物层具有第一通孔,重分布层通过第一通孔与焊盘电连接;第二聚合物层具有第二通孔,球下金属层通过第二通孔与重分布层电连接。重分布层的第一边缘至表面金属层的边缘的距离为第一距离d1;当第一距离d1满足d1≤200μm时,第一边缘开设有多个间隔设置的第一凹槽,第二聚合物层通过第一凹槽与第一聚合物层连接,则第一凹槽形成锚固效应且形成应力缓释区,从而降低因重分布层变形造成的短路风险。
技术关键词
芯片封装结构
聚合物层
应力释放孔
球下金属层
凹槽
电路系统
焊球
通孔
半导体器件技术
外部设备
锚固效应
焊盘
间距
短路
风险
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