一种芯片性能测试装置及其测试方法

本发明公开了一种芯片性能测试装置及其测试方法，包括送料机构、测试平台、限位调节组件、芯片吸附组件、支撑滑移组件、吸附处理组件、尾端调节组件、侧封闭组件、测试机构和测试探头，顶推支架上设置有顶推气缸，顶推气缸的底部固定连接有微调电机；本发明，由测试机构作为装置的三轴调节机构结合尾端调节组件来调节测试探头相对芯片的倾斜角度，满足了复杂的实际测试需求，提高了设备的实用性；测试之前通过限位调节组件自动完成芯片的定位过程，无需人工参与，降低了芯片测试的人工成本；定位完成后由支撑滑移组件配合吸附处理组件清除芯片上残留的粉尘和杂质，避免粉尘和杂质附着在测点上影响测试的结果，保障了装置的测试精度。