样本的非破坏性三维探测和表征

本文公开了一种用于对样本的非破坏性表征的系统。所述系统包括：电子束(e‑束)源，所述电子束源用于将电子束以一个或多个电子束着陆能量投射到样本上；X射线检测器，所述X射线检测器用于感测从样本发射的X射线，由此获得测量数据；以及处理电路系统。处理电路系统被配置为：(i)从测量数据提取由矢量指定的关键特征；以及(ii)基于和模拟关键特征的矢量的集来确定表征样本的一个或多个结构参数的值中的每一者是对由于用电子束以一个或多个着陆能量中的每一者入射在相应的模拟样本上而从所述相应的模拟样本发射X射线的计算机模拟的产物。