一种柔性仿生足垫及微型仿生机器人

本发明属于微纳加工领域，具体涉及一种柔性仿生足垫及微型仿生机器人。柔性仿生足垫根据壁虎足部表面的微纳结构的原理设计，包括由柔性材料制备而成的垫片和微柱阵列。微柱阵列位于垫片的表面，微柱阵列内的各个微柱中远离垫片一端的顶部具有钉帽状的触点。本发明中的柔性仿生足垫采用PDMS材料制备，并通过转印的工艺生产，转印采用的模具中具有与微柱阵列对应的大量盲孔，模具中的盲孔则采用飞秒激光加工系统加工得到。飞秒激光加工时，本发明采用微动平台和振镜系统对激光在模具上的扫描路径进行联合调控，进而保障加工质量。本发明解决了微型机器人足部结构的摩擦力不足的问题，拓宽了其在爬壁和陡坡行走等场景下的应用。