摘要
本发明涉及光学传感器技术领域,公开了一种内嵌式光学传感器结构及其制作方法,包括第一绝缘层、第二绝缘层、受光芯片和透明塑封体,第一绝缘层、第二绝缘层自下而上层叠布置;第二绝缘层开设有至少一个容置凹槽,受光芯片安装于容置凹槽中,第二绝缘层位于容置凹槽的外侧构成遮光侧壁;透明塑封体填充设置于容置凹槽中,透明塑封体覆盖在受光芯片的外部,且透明塑封体远离第一绝缘层的表面形成了感光面;第一绝缘层的底面设有第一导电部,第一绝缘层与第二绝缘层之间设有第二导电部,且第二导电部裸露于容置凹槽的下部,受光芯片与第二导电部电连接;第二绝缘层的上表面设有第三导电部。可保证四周侧面完全密合遮光,提高了集成度和抗干扰性。
技术关键词
光学传感器结构
容置凹槽
受光芯片
导电
金属镀层
光学传感器技术
导体
通孔
叠层衬底
基板
双面
蚀刻
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