摘要
本发明公开了一种改善底填溢胶的栅栏式封装方法及其产品,该栅栏式封装方法包括以下步骤:先在玻璃基板上贴装第一功能芯片,再进行塑封形成第一塑封体;对第一塑封体进行研磨减薄,制作金属重布线层;在金属重布线层上连接第二功能芯片;在第二功能芯片四周形成栅栏;将金属重布线层与第二功能芯片之间的空隙采用底填胶进行填充;形成第二塑封体;对第二塑封体进行研磨减薄,露出第二功能芯片,去除玻璃基板,再形成重布线金属结构。本发明利用裸硅形成栅栏,将底填胶点在功能芯片与栅栏之间,不仅能缩小点胶边溢胶宽度,增加芯片设计密级程度,也可避免底填胶在切割道处的连胶现象,减小后制程作业难度,增加产品良率及可靠性。
技术关键词
封装方法
栅栏
金属柱结构
重布线层
金属结构
玻璃基板
磁控溅射工艺
导电结构
光刻工艺
钝化膜层
芯片贴装工艺
刻蚀工艺
点胶高度
制程作业
空隙
倒装芯片
半成品
电镀工艺
系统为您推荐了相关专利信息
LED封装结构
LED芯片表面
封装方法
LED背光模组
凹坑
导电通孔结构
芯片封装结构
重布线层
复合体
导电结构
识别控制方法
物理围栏
行走设备
虚拟围栏
全局地图
金属焊盘结构
封装方法
铜柱结构
重布线层
拆键合工艺
可移动机器人
机器视觉模块
点云三维重建
三维模型
金属结构损伤