一种改善底填溢胶的栅栏式封装方法及其产品

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一种改善底填溢胶的栅栏式封装方法及其产品
申请号:CN202510666208
申请日期:2025-05-22
公开号:CN120545189A
公开日期:2025-08-26
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种改善底填溢胶的栅栏式封装方法及其产品,该栅栏式封装方法包括以下步骤:先在玻璃基板上贴装第一功能芯片,再进行塑封形成第一塑封体;对第一塑封体进行研磨减薄,制作金属重布线层;在金属重布线层上连接第二功能芯片;在第二功能芯片四周形成栅栏;将金属重布线层与第二功能芯片之间的空隙采用底填胶进行填充;形成第二塑封体;对第二塑封体进行研磨减薄,露出第二功能芯片,去除玻璃基板,再形成重布线金属结构。本发明利用裸硅形成栅栏,将底填胶点在功能芯片与栅栏之间,不仅能缩小点胶边溢胶宽度,增加芯片设计密级程度,也可避免底填胶在切割道处的连胶现象,减小后制程作业难度,增加产品良率及可靠性。
技术关键词
封装方法 栅栏 金属柱结构 重布线层 金属结构 玻璃基板 磁控溅射工艺 导电结构 光刻工艺 钝化膜层 芯片贴装工艺 刻蚀工艺 点胶高度 制程作业 空隙 倒装芯片 半成品 电镀工艺
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