一种优先集成功能芯片的硅桥封装方法

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一种优先集成功能芯片的硅桥封装方法
申请号:CN202511231390
申请日期:2025-08-31
公开号:CN121011516A
公开日期:2025-11-25
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种优先集成功能芯片的硅桥封装方法,其规避了大尺寸高IO密度逻辑芯片和存储芯片倒装工艺引起的焊接不良;且省去了大尺寸IO密度功能芯片的flux清洗工艺和点胶工艺,从而简化了流程,规避了大尺寸高IO密度功能芯片的助焊剂清洗残留与点胶空洞的诸多难题;且规避了键合胶残留有关的良率风险。首先通过正装贴片与塑封实现功能芯片的集成,之后制作嵌入硅桥芯片的中介层,然后将中介层贴装到基板。
技术关键词
金属焊盘结构 封装方法 铜柱结构 重布线层 拆键合工艺 倒装工艺 芯片互连 底部填充工艺 封装体 金属微凸点 释放层 中介层 胶膜 玻璃 晶圆
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