摘要
本发明提供了一种优先集成功能芯片的硅桥封装方法,其规避了大尺寸高IO密度逻辑芯片和存储芯片倒装工艺引起的焊接不良;且省去了大尺寸IO密度功能芯片的flux清洗工艺和点胶工艺,从而简化了流程,规避了大尺寸高IO密度功能芯片的助焊剂清洗残留与点胶空洞的诸多难题;且规避了键合胶残留有关的良率风险。首先通过正装贴片与塑封实现功能芯片的集成,之后制作嵌入硅桥芯片的中介层,然后将中介层贴装到基板。
技术关键词
金属焊盘结构
封装方法
铜柱结构
重布线层
拆键合工艺
倒装工艺
芯片互连
底部填充工艺
封装体
金属微凸点
释放层
中介层
胶膜
玻璃
晶圆
系统为您推荐了相关专利信息
双面覆铜陶瓷基板
芯片封装结构
散热基板
重布线层
导电柱
超声波指纹芯片
电极接线柱
分区结构
压电薄膜材料
封装方法
封装结构
互连结构
存储控制单元
封装方法
存储阵列
芯片结构
底边结构
电流传感器
封装方法
引线框架