摘要
本发明提供了一种优先集成功能芯片的硅桥封装方法,其规避了大尺寸高IO密度逻辑芯片和存储芯片倒装工艺引起的焊接不良;且省去了大尺寸IO密度功能芯片的flux清洗工艺和点胶工艺,从而简化了流程,规避了大尺寸高IO密度功能芯片的助焊剂清洗残留与点胶空洞的诸多难题;且规避了键合胶残留有关的良率风险。首先通过正装贴片与塑封实现功能芯片的集成,之后制作嵌入硅桥芯片的中介层,然后将中介层贴装到基板。
技术关键词
金属焊盘结构
封装方法
铜柱结构
重布线层
拆键合工艺
倒装工艺
芯片互连
底部填充工艺
封装体
金属微凸点
释放层
中介层
胶膜
玻璃
晶圆