一种双工位共晶加热机及共晶方法

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一种双工位共晶加热机及共晶方法
申请号:CN202411462682
申请日期:2024-10-19
公开号:CN119517795B
公开日期:2025-10-10
类型:发明专利
摘要
本申请涉及一种双工位共晶加热机及共晶方法,涉及半导体封装装设备的技术领域,共晶加热机包括工作台;共晶台,用于将基板、第一芯片和第二芯片加热键合,共晶台设置在工作台上,共晶台上间隔设置有第一工位和第二工位;第一芯片上料装置,用于朝共晶台输送第一芯片,第一芯片上料装置设置在工作台上;第二芯片上料装置,用于朝共晶台输送第二芯片,第二芯片上料装置设置在工作台上;基板上下料装置,用于朝第一工位以及第二工位输送基板,并将第一工位以及第二工位的成品下料,基板上下料装置设置在工作台上。本申请通过共晶台双工位的设置,能够降低成品生产过程之中不必要的时间浪费,进而提高共晶加热机的生产效率。
技术关键词
共晶 芯片上料装置 取料机械手 工位 机械手驱动机构 供收料机构 加热机 成品料仓 基板 工作台 输送件 驱动件 机架 半导体封装 往复运动 料盘
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