摘要
本申请涉及一种双工位共晶加热机及共晶方法,涉及半导体封装装设备的技术领域,共晶加热机包括工作台;共晶台,用于将基板、第一芯片和第二芯片加热键合,共晶台设置在工作台上,共晶台上间隔设置有第一工位和第二工位;第一芯片上料装置,用于朝共晶台输送第一芯片,第一芯片上料装置设置在工作台上;第二芯片上料装置,用于朝共晶台输送第二芯片,第二芯片上料装置设置在工作台上;基板上下料装置,用于朝第一工位以及第二工位输送基板,并将第一工位以及第二工位的成品下料,基板上下料装置设置在工作台上。本申请通过共晶台双工位的设置,能够降低成品生产过程之中不必要的时间浪费,进而提高共晶加热机的生产效率。
技术关键词
共晶
芯片上料装置
取料机械手
工位
机械手驱动机构
供收料机构
加热机
成品料仓
基板
工作台
输送件
驱动件
机架
半导体封装
往复运动
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