摘要
本发明公开一种双渐变波导垂直空间光耦合器,属于光子集成芯片技术领域。其包括总线波导和耦合波导组成,按功能在传输方向上可以分为输入区域、耦合区域以及过渡输出区域。在耦合区域总线波导与耦合波导宽度反向变化,使耦合模式更接近于输入输出端的传输模式,降低损耗、提高耦合比,同时减小耦合长度,增大带宽。该空间光耦合器结构简单、尺寸紧凑,适用于各种材料的光波导器件,有利于大规模制备和集成。
技术关键词
波导
空间光
光子集成芯片技术
刻蚀深度
二氧化硅基底
光开关功能
耦合器结构
端口
间距
绝缘体
模式
空气
损耗
尺寸
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