一种反转T型波导结构的光栅耦合器

本发明提供了一种反转T型波导结构的光栅耦合器，涉及光电集成器件技术领域，包括光子芯片及光纤(1)。光子芯片结构从上至下依次包括以下部分：波导耦合光栅(2)、波导层(3)、二氧化硅掩埋层(4)、反射镜层(5)、衬底层(6)；其中，反射镜层(5)由多组折射率差较大的不同材料层交替形成，波导耦合光栅在波导层(3)上刻蚀形成，光纤(1)被设置在光子芯片上方，与垂直方向z轴形成倾斜角。反转T型结构可有效增强相邻光栅之间的相互作用，增加向上衍射的光束，减少横向透射光带来的插入损耗，以提高光栅耦合器的耦合效率，并实现大带宽。