摘要
本申请涉及一种倒装Mini‑LED芯片及其制备方法,属于半导体发光器件技术领域。该芯片包括依次设置的发光层、衬底,以及在衬底上依次外延生长的石墨烯层、缓冲层、未掺杂GaN层、n型GaN层、应力释放层、多量子阱层、电子阻挡层和p型GaN层;发光层包括钙钛矿量子点薄膜;其中,单层石墨烯层的厚度为0.5‑1.5nm,石墨烯层的层数至少为2层。通过在衬底的一侧沉积钙钛矿量子点薄膜,可以提高芯片整体的发光效率,以及拓宽了波长。通过在另一侧沉积石墨烯夹层,并在几层石墨烯上继续生长高结晶质量GaN薄膜;使得该芯片不仅在大电流和高功率条件下应用时,具有优异的散热效果,还具有出色的发光效率和更宽的波长范围。
技术关键词
钙钛矿量子点薄膜
LED芯片
应力释放层
衬底
多量子阱层
量子点溶液
电子阻挡层
GaN层
半导体发光器件技术
发光层
石墨烯夹层
GaN薄膜
缓冲层
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