一种适用于消零干涉系统的相位调控方法及装置

本发明公开了一种适用于消零干涉系统的相位调控方法及装置，该方法利用压电陶瓷迟滞非线性曲线分段自匹配多项式拟合算法和复合控制算法，解决了压电陶瓷迟滞非线性高精度拟合运算量大的问题，提升了压电陶瓷控制精度，简化了运算量，对系统误差、环境扰动等因素进行了抑制。基于上述方法还提供了相应的相位调控装置，所述装置包括PC端、控制器、压电放大器、压电促动器、相位调节反射镜、电容位移传感器、传感器控制器以及消零干涉系统，具有精度高、运算量小、相位可调控的优点。