摘要
本申请公开了一种Micro‑LED显示器及其制备方法,在生长氮化镓缓冲层和LED磊晶层之前,于蓝宝石衬底上制备带有斜面的台形凸起结构。激光剥离LED芯片和蓝宝石衬底时,激光经过斜面折射,沿折射方向分解氮化镓并产生氮气冲击力。由于台型凸起结构的顶部为平面,可以有效地分隔折射方向上的氮气冲击力,避免相反水平方向上的分力靠得太近,以致于撕裂LED磊晶层。本申请提供的M icro‑LED显示器的制备方法可以避免LED芯片产生裂纹,提高显示器的可靠性和使用寿命。
技术关键词
LED显示器
LED芯片
蓝宝石衬底
薄膜晶体管
压电单元
显示背板
生长氮化镓
驱动电路单元
电极垫
发光单元
半导体层
斜面
扫描信号线
圆台形
平坦化层
激光
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