三工位光伏片加工设备

本发明提供一种三工位光伏片加工设备，涉及半导体加工设备领域。三工位光伏片加工设备包括：机体；三工位转盘组件，三工位转盘组件可转动地设置于机体，三工位转盘组件设置有第一工位、第二工位和第三工位，第一工位、第二工位和第三工位以三工位转盘组件的旋转轴线为中心呈等边三角形排布，第一工位、第二工位和第三工位均用于固定光伏片；抓取组件，抓取组件设置于机体，用于向第一工位抓取光伏片以及将第三工位加工完成的光伏片向下抓取；处理组件，设置于机体且与第二工位对应，以对第二工位的光伏片进行处理。其能够改善两工位离心力较大导致的离心力较大导致飞片的问题还能够改善四工位需要较大加速度而需要水冷降温的问题。