一种主动恒温式绝压压力传感器的制造工艺及压力传感器

本发明涉及传感器技术领域，公开了一种主动恒温式绝压压力传感器的制造工艺及压力传感器，包括以下步骤：在POI硅衬底旋涂光刻胶；确定掺杂浓度及深度参数；注入单晶硅离子形成n型及p型热偶；利用刻蚀工艺去除联结区域的介质层，暴露热偶对；形成热偶互连线；在压电层表面沉积金属层，沉积介质层保护压电电极得到上衬底；制作介质层，制作腔体区域得到下衬底；将上衬底与下衬底键合，制作通孔暴露热偶区域；形成通孔种子层，暴露电极互连pad区域，去除光刻胶。本发明可以通过控制电路控制热偶对两端的电压大小/方向，对谐振器进行加热/制冷，保持谐振器的恒温，杜绝了谐振器的温漂，提高了气压探测的准确性。