一种具有圆桶形波导的量子级联激光器及其制备方法

本发明涉及一种具有圆桶形波导的量子级联激光器及其制备方法，属于光电子领域，包括层叠结构，层叠结构设置有两个波导槽，两个波导槽之间形成脊波导，波导槽呈双曲线形，脊波导呈圆筒形；波导槽的底部和侧壁区域经机械化学研磨处理，并采用InP：Fe填充，然后再次进行机械化学研磨，随后蒸镀绝缘薄膜层材料；本发明的脊波导因其独特的圆筒形形状，可以有效提升光子密度，优化激光的输出特性；同时，能更好地控制光的模式分布，利用光学反射和干涉效应，实现优异的激光特性。本发明在二次外延前采用机械化学研磨的方法，对双沟道进行表面处理，可有效降低二次外延InP：Fe后的波导损耗，进而降低阈值电流密度，增大输出功率和斜率效率。