一种芯片制造用连续清洗设备

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一种芯片制造用连续清洗设备
申请号:CN202411496652
申请日期:2024-10-25
公开号:CN119346579A
公开日期:2025-01-24
类型:发明专利
摘要
本发明属于芯片清洗技术领域,尤其是涉及一种芯片制造用连续清洗设备,包括:清洗槽,所述清洗槽上端开口设置;清洗架,所述清洗架包括转动盘、若干转轴和固定框,所述转动盘转动连接于清洗槽内壁上,若干所述转轴呈环形阵列排布于转动盘的侧壁上,并且所述转轴转动连接于转动盘上,若干所述固定框分别固定连接于若干转轴上。本发明可驱动固定框绕齿轮盘转动,若干固定框依次浸入清洗槽内的清洗液中,实现对芯片的连续清,清洗完成后,带动芯片转动至清洗槽开口上方,可对清洗后的芯片进行更换,实现对芯片的连续清洗,有效提高了清洗效率洗,固定框可绕转轴的轴线进行转动,带动芯片在清洗槽内翻转,保证对芯片各处进行充分清洗。
技术关键词
连续清洗设备 清洗槽 扰流组件 齿轮 芯片清洗技术 夹持组件 环形阵列 蜗杆 驱动组件 滑杆 滑套 齿圈 永磁 排污管 蜗轮 外圈 叶轮 清洗液 联轴器
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