一种真空炉的集成控制系统

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一种真空炉的集成控制系统
申请号:CN202411498312
申请日期:2024-10-25
公开号:CN119024800A
公开日期:2024-11-26
类型:发明专利
摘要
本发明涉及真空炉技术领域,且公开了一种真空炉的集成控制系统,包括数据收集模块、数据处理模块、数据分析模块、输出模块以及预警模块。该真空炉的集成控制系统通过数据收集模块采集多组数据,将这些数据形成对应的数据集,并根据这些数据集分别得到炉内温度波动值、炉内真空度波动值、炉内气体流量波动值、清洗后的实时排放气体浓度以及清洗后的实时排放气体温度,再将这些数据分别与炉内温度波动值阈值、炉内真空度波动值阈值、炉内气体流量波动值阈值、排放气体浓度标准值以及排放气体温度标准值进行对比,当任一数据出现异常时,预警模块可以及时发出异常信号,并反馈给工作人员,便于工作人员诊断出对应的问题。
技术关键词
集成控制系统 气体 真空度 数据分析模块 数据收集模块 数据处理模块 预警模块 表达式 异常信号 输出模块 真空炉技术 浓度算法 网络 周期 措施 数值
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