摘要
本发明涉及真空炉技术领域,且公开了一种真空炉的集成控制系统,包括数据收集模块、数据处理模块、数据分析模块、输出模块以及预警模块。该真空炉的集成控制系统通过数据收集模块采集多组数据,将这些数据形成对应的数据集,并根据这些数据集分别得到炉内温度波动值、炉内真空度波动值、炉内气体流量波动值、清洗后的实时排放气体浓度以及清洗后的实时排放气体温度,再将这些数据分别与炉内温度波动值阈值、炉内真空度波动值阈值、炉内气体流量波动值阈值、排放气体浓度标准值以及排放气体温度标准值进行对比,当任一数据出现异常时,预警模块可以及时发出异常信号,并反馈给工作人员,便于工作人员诊断出对应的问题。
技术关键词
集成控制系统
气体
真空度
数据分析模块
数据收集模块
数据处理模块
预警模块
表达式
异常信号
输出模块
真空炉技术
浓度算法
网络
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