一种晶圆翻转装置及翻转方法

本发明公开了一种晶圆翻转装置，现提出如下方案，其包括机体，机体上安装有机械臂，机械臂的末端安装有支撑杆，支撑杆上安装有固定架，固定架上转动连接有调节片，固定盘的底端安装有橡胶膜，机体上连接有滑动盘，滑动盘上连接有喷出条，第二电机的转轴上安装有卷杆，卷杆上安装有粘带；本发明通过控制调节片转动，便于吸附较大尺寸的晶圆，调节方便，气体通过通孔进入外环的内部，从吹气孔缓缓喷出，从而吹动橡胶膜鼓起，保证橡胶膜的柔软度，外环直径大，从而便于适应较大尺寸的晶圆，在气压作用下外环与橡胶膜之间存在一定的缝隙，从而使橡胶膜较为柔软，避免对晶圆造成损伤，离子风对晶圆表面去除灰尘，灰尘粘附到粘带上，避免二次附着。