摘要
本发明涉及偏振分光镜技术领域,尤其涉及一种偏振分光镜及其制备方法和应用。本发明提供的偏振分光镜包括金刚石基片、位于所述金刚石基片一侧表面的偏振分光膜和第一金属化膜层、位于所述金刚石基片另一侧表面的宽带增透膜以及位于所述金刚石基片侧面的第二金属化膜层;所述第一金属化膜层位于所述金刚石基片一侧表面的边缘位置。采用金刚石作为偏振分光镜的基片材料,利用其高热导率的特点,可以尽快将激光作用在膜层和基片上产生的热量迅速传导,缓解局部温升造成的偏振分光镜损坏;将偏振分光镜的边缘进行金属化处理可将镜体与金属管壳或水冷结构进行一体焊接,在提升导热效率的同时还可以提供高可靠性和低漏率真空密封解决方案。
技术关键词
金刚石基片
偏振分光镜
宽带增透膜
偏振分光膜
金属化
高折射率材料层
低折射率材料层
半导体芯片行业
紫外光刻系统
激光退火装置
双面抛光
水冷结构
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真空密封
激光光源
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