摘要
本发明公开了一种阶梯厚铜嵌入式散热基板及其加工方法,加工方法包括:将基板的外层厚铜箔加工成由薄铜区域和厚铜区域组成的台阶结构,薄铜区域上制作出内层线路;在台阶结构上贴覆第一感光绝缘层,然后曝光和显影,以在第一感光绝缘层上形成内壁粗糙度不大于5μm的第一、二孔;将芯片固设于厚铜区域露出第一孔外的部位上;在第一感光绝缘层及芯片上覆设第二感光绝缘层,并在第二感光绝缘层上形成与芯片引脚连接的外层线路,在第二孔中形成分别与内层线路及外层线路连接的第一连接铜体,制得阶梯厚铜嵌入式散热基板。该加工方法的加工效率和精度高、加工成本低,所得散热基板的散热性能高、线路图形精细度高、信号损耗小,满足了生产需求。
技术关键词
感光绝缘层
散热基板
阶梯
台阶结构
线路
芯片
SMT表面贴装
粗糙度
点胶工艺
铜箔
种子层
覆膜
参数
蚀刻
电镀
损耗
精度
信号
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