一种用于水雾抛光的磨抛板自动在线循环清洁装置

本发明公开了一种用于水雾抛光的磨抛板自动在线循环清洁装置，包括浸泡溶解单元、机械清洗单元、风淋干燥单元、抓取输运单元、电控单元和存放架。本发明采用包含浸泡溶解、机械清洗、风淋干燥和抓取输运的多单元组合方式实现了磨抛板在线清洁，清洁作业期间水雾抛光不停滞，大幅提高了水溶性功能晶体元件的加工效率。本发明采用浸泡池和清洗头的组合清洁方案，实现了磨抛板表面微结构中溶解产物的有效去除；本发明通过多关节机械臂和真空吸盘组件将清洁好的磨抛板放置于存放架上待用，减小了水雾抛光磨抛板更换用时，提高了效率；更换下来的磨抛板依次进入浸泡溶解单元、机械清洗单元和风淋干燥单元，实现了清洁的循环化。