一种适用于芯片键合的材料及其镀膜方法

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一种适用于芯片键合的材料及其镀膜方法
申请号:CN202411524138
申请日期:2024-10-30
公开号:CN119400769A
公开日期:2025-02-07
类型:发明专利
摘要
本发明属于芯片材料技术领域,具体涉及一种适用于芯片键合的材料及其镀膜方法。本发明的键合材料包括所述材料的成分为In、Sn、Bi、Au、Sn中的一种或几种,本发明的材料可以在更低温的键合环境下,极大地减少了蓝宝石与硅基因热膨胀系数的差异带来的应力,提升键合准确度以及成功率,而且材料的质地更硬,提高对应力的抵抗效果,从而提升键合的成功率,有效解决了现有问题。
技术关键词
缓冲层材料 驱动基板 镀膜方法 芯片 金属电极 光刻胶剥离 涂布光刻胶 光刻工艺 应力 参数 基因 电路
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