智能监测方法、平台、系统、可读存储介质及程序产品

本申请涉及半导体技术领域，具体公开一种智能监测方法、平台、系统、可读存储介质及程序产品。方法用于对半导体设备进行监测，半导体设备包括若干个工作模组；方法包括：建立预测模型，预测模型用于根据工作模组的输入量预测得到输出量；根据各工作模组的输入量和预测模型，得到预测的输出量；根据各工作模组实际的输出量和预测的输出量，确定各个工作模组的健康度；根据各个工作模组的健康度，确定半导体设备的健康度。由此能够结合半导体设备中每个工作模组对应的预测模型预测出的输出量与实际的输出量，进而对每个工作模组的健康度进行监测，从而得到半导体设备整体的健康度，监测准确度较高且监测效率较高，有效提高了监测方法的智能化程度。