一种用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液及其制备方法与应用

本发明提供一种用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液及其制备方法与应用，所述用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液包括重量配比如下的各组分：氟化试剂0.5‑3份；硝酸20‑70份；醋酸30‑50份；渗透润湿剂1‑5份；反应扩散剂1‑10份。所述氟化试剂为亲核氟化试剂，所述渗透润湿剂为Gemini表面活性剂，所述反应扩散剂为碳链修饰的亚硝基连二硫酸。本发明用于去除Si孔侧壁损伤层的蚀刻液能有效去除TSV工艺中Si孔侧壁损伤层。本发明蚀刻液通过分段蚀刻芯片，能提高液体置换率，加快传质，促进孔内均一蚀刻，形成孔内均一形貌。