摘要
本发明公开了一种具有全包式DBR结构的微型发光二极管的制备方法,包括如下步骤:制备本体;所述本体的顶部覆盖顶部膜层,所述本体的侧部覆盖侧部膜层;其中,所述侧部膜层覆盖所述顶部膜层的侧面和/或所述顶部膜层覆盖所述侧部膜层的顶面;所述顶部膜层和侧部膜层均由第一介质薄膜层和第二介质薄膜层交替沉积得到;制备所述顶部膜层和侧部膜层:确定第一介质薄膜层和第二介质薄膜层的材质、初始单层厚度以及顶部膜层和侧部膜层的初始层数;对初始单层厚度以及初始层数进行优化,并得到最优单层厚度以及层数;根据最优单层厚度以及层数在所述本体上进行镀膜,得到所述具有全包式DBR结构的微型发光二极管。
技术关键词
微型发光二极管
侧部
介质
DBR结构
单层
GaN层
薄膜层
透过率
电子束蒸发技术
原子层沉积技术
镀膜
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