一种半导体微米级颗粒物的清洗方法

本发明涉及半导体清洗技术领域，具体地说，涉及一种半导体微米级颗粒物的清洗方法，其包括传送装置，传送装置上均匀设置有若干传送座，邻近传送装置上设置有喷淋架，喷淋架上设置有水泵，传送座上设置有第一驱动电机，第一驱动电机上设置有升降装置，升降装置上设置有芯片，喷淋架上位于圆形半导体托盘的正上方设置有喷淋桶，喷淋桶的顶端内围绕其圆心均匀设置有若干喷淋头，喷淋桶的圆心处设置有旋转管，旋转管一端与第二驱动电机的输出端相连接，另一端设置有聚水环，旋转管内转动连接有传动杆，传动杆一端与第三驱动电机的输出端相连接，另一端设置有雾化环，雾化环上设置有若干连杆，雾化环通过连杆与传动杆相连接。