摘要
本公开的各种实施例涉及堆叠互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器。第一集成电路(IC)芯片和第二IC芯片垂直堆叠。像素传感器跨越第一和第二IC芯片。像素传感器包括位于第一IC芯片的第一传输晶体管和光电探测器,还包括位于第二IC芯片的源极跟随器晶体管、晶体管电容器和第二传输晶体管。晶体管电容器和第二传输晶体管从第一传输晶体管的源极/漏极区串联电耦合到源极跟随器晶体管的栅电极。
技术关键词
晶体管
图像传感器
源极跟随器
电容器
有源半导体区
像素
光电探测器
沟槽隔离结构
电耦合
IC芯片
集成电路芯片堆叠
半导体衬底
互补金属氧化物半导体
电极
阶梯轮廓
栅极介电层
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