一种探针卡孔径的自适应检测方法及系统

本发明公开了一种探针卡孔径的自适应检测方法及系统，涉及孔径检测领域。所述方法包括：获得目标孔内图像；获得目标孔内清洁验证结果；当所述目标孔内清洁验证结果为通过时，获得实时载物台控制数据和实时目标定位数据；根据多级检测特征校验约束，获得检测特征验证结果；当所述检测特征验证结果为合格时，获得检测设备控制决策；基于自适应孔径检测算法，对所述目标探针卡进行检测，获得目标孔径检测报告。采用本方法解决了现有的探针卡孔径检测方法存在着检测误差高、精度差，难以满足对探针卡孔径检测的高精度需求的技术问题，实现了提高探针卡的孔径检测准确性，降低探针卡的孔径检测误差的技术效果。