一种基于形态学处理的扫描电镜图像轮廓提取方法

本发明公开一种基于形态学处理的扫描电镜图像轮廓提取方法，包括以下步骤：接收扫描电镜图像并将图像转化为灰度图，采用图像处理算法提取灰度图中的初步轮廓，通过膨胀操作连接断开的轮廓，并自动填充轮廓隔开的区域，手动调整填充结果，再经腐蚀操作恢复到原本的尺寸，最后设定面积阈值滤除小面积轮廓，从而得到准确的最终轮廓。本发明解决了传统轮廓提取方法在复杂扫描电镜图像中难以准确识别与完整提取轮廓的问题，通过形态学操作去除了多余的错误轮廓，并将断开的真实轮廓连接起来，该方法不仅提高了轮廓提取的精度和效率，还增强了轮廓的连续性和完整性，提高了集成电路制造工艺分析的精度。