摘要
本发明提供一种半导体芯片的封装结构及其封装方法,所述半导体芯片的封装结构包括:基板;晶圆芯片,所述晶圆芯片与所述基板压合;其中,所述封装结构的压合区包括焊盘以及形成于焊盘表面的介质层,自所述介质层的中部朝向周侧边缘的方向,所述介质层包括不均等的厚度。本发明通过将介质层设置为包括不均等的厚度,可以分散介质层所受到的应力,进而减少焊盘金属层或芯片功能层的断裂或翘曲,提高封装结构的电性能和稳定性。
技术关键词
封装结构
半导体芯片
光刻胶层
介质
封装方法
蚀刻
传感器芯片
基板
导线
种子层
涂布光刻胶
露出焊盘
印刷焊膏
台阶
焊盘表面
晶圆背面
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