三维振镜校正方法及激光加工设备

本申请提供一种三维振镜校正方法及激光加工设备。该方法包括：控制运动平台移动至振镜组件的基准面；以振镜组件的中心点为圆心，确定运动平台的介质上以预设值为半径的圆形的等高线；通过激光在等高线上沿预设方向标记多个第一标刻网格，每个第一标刻网格中的每个第一标刻网格对应一个偏转角度，所述每个第一标刻图形对应一个变焦镜片的位置；基于视觉组件对每个第一标刻网格做检测，以从所述每个第一标刻网格的多个第一标刻图形对应的变焦镜片的位置中，确定激光的焦点对应的第一目标位置；拟合对等高线的半径及多个第一标刻网格对应的第一目标位置，得到第一曲线；根据第一曲线补偿变焦镜片的位置。利用上述方法，能够对三维振镜进行准确校正。