一种立体光谱成像显微镜及其方法

本发明公开了一种立体光谱成像显微镜及其方法，属于光谱成像技术领域。其特征在于，包括：单色光源模块、显微镜光路模块及光谱成像模块；所述单色光源模块包括光源、单色仪、单色仪扫描电路及单色仪马达；所述显微镜光路模块包括聚光镜、载物台、载物台马达、物镜、探测器接口及遮光罩。所述光谱成像模块包括伸缩筒、伸缩筒马达、探测器插筒、面阵光电探测器、调焦电路及像平面扫描电路。相对于现技术，本发明提供的立体光谱成像显微镜及其方法，可依次获得所述待测样品第1物平面到第N物平面的平面光谱成像图像，并可合成立体光谱成像图像。让研究者能够从三维立体空间上研究待测样品各部分的形状、缺陷、物理结构、化学成分。