一种基于Dueling DQN的改进BSIM参数提取方法

本发明公开了一种基于Dueling DQN的改进BSIM参数提取方法，旨在提高在半导体器件建模中参数提取的效率与准确性，参数提取过程使用TCAD仿真数据和WAT测量数据，提取与沟道长度、宽度及电流、电容相关的参数，将BSIM参数提取问题建模为马尔可夫决策过程，通过创建Dueling DQN网络模型并进行模型训练，计算目标Q值和损失，更新Dueling DQN的网络参数；在训练过程中，计算均方根误差值，去除无效动作并处理偶数和奇数动作对，根据均方根误差值差异进行排序，通过模型收敛，得到收敛后的BSIM参数值。本发明方法能够在预设的误差范围内收敛，显著提升BSIM参数提取的效率和准确性。