摘要
本发明公开了一种用于芯片样品调水平的扫描电镜安置平台,包括工作台,所述工作台的上端放置有壳体,所述壳体的下部一侧滑动连接有抽拉盒,所述抽拉盒的内腔底部固定连接有底板,所述底板的上端中部设置有用于放置芯片样品的安置平台,所述底板的上端对称设置有用于调节芯片样品位置的定位机构,所述底板的上端中部设置有驱动定位机构移动的驱动机构,当驱动机构的上端转动时,带动定位机构靠近安置平台的一端相对安置平台移动。本发明通过转动板带动对称的驱动杆同步靠近安置平台,通过驱动杆带动硅胶板移动杆同步靠近安置平台,从而使硅胶板对芯片样品进行居中定位,通过从动杆、移动板和驱动槽的配合,从而得到立体的芯片样品影像。
技术关键词
扫描电镜
平台
驱动定位机构
芯片
内腔
底板
弹性伸缩杆
中心对称
工作台
移动杆
伺服电机
显示器
牵引绳
壳体
斜面
移动板
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