一种用于芯片样品调水平的扫描电镜安置平台

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一种用于芯片样品调水平的扫描电镜安置平台
申请号:CN202411571826
申请日期:2024-11-06
公开号:CN119170470B
公开日期:2025-04-01
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种用于芯片样品调水平的扫描电镜安置平台,包括工作台,所述工作台的上端放置有壳体,所述壳体的下部一侧滑动连接有抽拉盒,所述抽拉盒的内腔底部固定连接有底板,所述底板的上端中部设置有用于放置芯片样品的安置平台,所述底板的上端对称设置有用于调节芯片样品位置的定位机构,所述底板的上端中部设置有驱动定位机构移动的驱动机构,当驱动机构的上端转动时,带动定位机构靠近安置平台的一端相对安置平台移动。本发明通过转动板带动对称的驱动杆同步靠近安置平台,通过驱动杆带动硅胶板移动杆同步靠近安置平台,从而使硅胶板对芯片样品进行居中定位,通过从动杆、移动板和驱动槽的配合,从而得到立体的芯片样品影像。
技术关键词
扫描电镜 平台 驱动定位机构 芯片 内腔 底板 弹性伸缩杆 中心对称 工作台 移动杆 伺服电机 显示器 牵引绳 壳体 斜面 移动板 主机 支架 硅胶板 通孔
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